MSCT

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氮化硅探針

用于接觸式、輕敲式或力的測量，高靈敏度，彈性系數(shù)極低；

每個基片有6個懸臂，彈性系數(shù)為0.01 - 0.50 N/m，有銳化處理，

包裝數(shù)量：10根/盒

針尖參數(shù)

幾何：各向異性

針尖高度 (h): 2.5 - 8.0μm

正面角(FA): 15 ± 2.5°

背面角(BA): 25 ± 2.5°

側(cè)面角 (SA): 17.5 ± 2.5°

針尖曲率半徑(Nom): 10nm

針尖曲率半徑(Max): 40nm

針尖縮進(jìn) (TSB)(Nom): 4μm

針尖縮進(jìn)范圍 (TSB)(RNG): 0 - 7μm

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