藍(lán)寶石拋光墊
SH-Q20拋光布廣泛應(yīng)用于硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、藍(lán)寶石、水晶等粗拋以及精密拋光。日本的信越半導(dǎo)體(硅片)、京瓷(藍(lán)寶石)、并木(藍(lán)寶石)、俄羅斯MonoCrystal(藍(lán)寶石)、等多家公司都在使用該拋光布。
物性說(shuō)明:
品名 (ARTICLE NO): SH-Q20
用途 (FOR USES) : CMP *粗研磨用
物理性質(zhì)各項(xiàng)參數(shù) ( PHYSICAL PROPERTIES )
項(xiàng)目 | 重量 | 厚度 | 密度 | 壓縮率 | 彈性率 | 硬度 | 絨長(zhǎng) | 開(kāi)口徑 |
單位 | g/m2 | mm | g/m3 | % | % | Asker C | μm | μm |
測(cè)定值 | 645 | 2.0 | 0.54 | 0.97 | 63 | 96 | -- | -- |
TEST METHOD | JIS- K6328 | JIS- K6328 | JIS- K6328 | JIS- L1096 | JIS- L1096 | JIS- K6301 | OWN METHOD |
(物理性質(zhì)數(shù)據(jù)只是測(cè)定數(shù)值,不作為規(guī)格數(shù)值。)(The above is not standard, but measured figures.)產(chǎn)品特點(diǎn):
v 能提高研磨效率,研磨面的表面狀態(tài)如均勻的毛玻璃狀態(tài);
v 采用高硬度的不織布,使用壽命長(zhǎng);
v 可以用來(lái)金屬的研磨,并可以使用研磨砂,有相應(yīng)實(shí)績(jī);
v 可以根據(jù)用戶要求開(kāi)槽。
同比市面上較多的羅門哈斯SUBA系列拋光布具有以下優(yōu)點(diǎn):
v 拋光壽命更長(zhǎng)
v 價(jià)格更加低廉
v 性能與SUBA系列持平