小型等離子清洗機泛指容積在10升以下，主要適用于半導(dǎo)體行業(yè)，應(yīng)刷電路板行業(yè)，醫(yī)療診斷行業(yè)，醫(yī)療器械行業(yè)，彈性體行業(yè)，光學(xué)行業(yè)等
小型等離子清洗機的基本結(jié)構(gòu)
1、射頻電源部分：射頻源，射頻調(diào)節(jié)，功率放大，功率調(diào)節(jié)，功率輸出，輸出保護(hù)，等離子電極，溫度保護(hù)。
2、系統(tǒng)控制部分：數(shù)字自控，I/O控制，真空度A/D檢測，脈寬比例D/A調(diào)節(jié)，參數(shù)記憶，時鐘設(shè)定。
3、真空與氣路部分：真空系統(tǒng)，外加氣體，流量調(diào)節(jié)，回氣與管路
設(shè)備的通用技術(shù)參數(shù)
____ YZD08-10C型是單路氣體輸入，
*供電電源： AC220V
*工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
*射頻電源功率： 500W
*射頻頻率： 40KHZ（偏移量小于0.2KHz）
*頻率偏移量： 小于0.2KHz
*特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
*真空度： 10Pa1000Pa
*氣體流量： 1100ml/min(可調(diào))
*過程控制： PLC自動與手動方式(人機界面)
清洗時間： 1-100分鐘可調(diào)
功率大小 10%-100%可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 200mm×200mm×260mm
