大氣通過各種真空密封的連接處，通過各種漏隙通道泄漏進入真空室的漏氣流量QLPa·m3／s。對于確定的真空裝置，漏氣流量QL是個常數(shù)。漏氣流量通常可通過所說的壓升率，即單位時間內(nèi)容器中的壓強增長率Px來計算式.

   當真空泵啟動之后，真空系統(tǒng)即對被抽容器抽氣。此時，真空系統(tǒng)對容器的有效抽速若以Se表示，容器中的壓力以P表示，則單位時間內(nèi)系統(tǒng)所排出的氣體流量即是SeP。容器中的壓強變化率為dP/dt，容器內(nèi)的氣體減少量即是V dP/dt。。

   這個方程稱為真空系統(tǒng)抽氣方程。式中V是被抽容器的容積，由于隨著抽氣時間t的增長，容器內(nèi)的壓力P降低，所以容器內(nèi)的壓強變化率dP/dt是個負值。因而V dP/dt是個負值，這表示容器內(nèi)的氣體減少量。放氣流量Qf，滲透氣流量Qs，蒸發(fā)的氣流量Qz和漏氣流量QL都是使容器內(nèi)氣體量增多的氣流量。SeP則是真空系統(tǒng)將容器內(nèi)氣體抽出的氣流量，所以方程中記為一SeP。

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