產(chǎn)品簡介：
瑞士inficon HPG400皮拉尼高壓熱離子真空計，在 2 x 10-6
毫巴至大氣壓范圍內(nèi)提供準確濺射過程壓力控制的高重復性和再現(xiàn)性測量
產(chǎn)品詳細
HPG400皮拉尼高壓熱離子真空計 的詳細介紹
INFICON HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個體積小、價格低的規(guī)管中，可測量
2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內(nèi)的壓力。
HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計提供高可重復性和再現(xiàn)性壓力測量，精確控制濺射過程。
HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計益處
- HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)安裝與設置的復雜性
- 高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力，進而改善過程控制
- 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護熱絲，防止過早燒毀
- 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預
- RoHS 合規(guī)
HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計典型應用
- 半導體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應用
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計選型指南：
| HPG400 |
| 零件號 |
說明 |
| 353-520 |
皮拉尼真空計 |
| 353-521 |
HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-522 |
HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| 353-523 |
HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| 353-525 |
HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| 353-526 |
HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F |
| 353-527 |
HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| 353-528 |
HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
附件
| HPG400 |
| 零件號 |
說明 |
| 211-113 |
Centering ring with baffle DN 25 KF |
| 353-511 |
BPG400 24V電源 |
備件
| HPG400 |
| 零件號 |
說明 |
| 354-487 |
HPG400 備用傳感器 |
| 354-488 |
HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F |
