無塵室內(nèi)的空調(diào)系統(tǒng)為供應(yīng)適當(dāng)溫濕度與潔凈度達(dá)到一定要求之新鮮空氣至無塵室，使其符合制程所需空氣處理系統(tǒng)，用于調(diào)節(jié)無塵室濕度和補(bǔ)償新風(fēng) 無塵室空調(diào)系統(tǒng)由以下幾部分組成： 風(fēng)管系統(tǒng) 1）以風(fēng)管輸送潔凈空氣 2）循環(huán)空調(diào)箱兼處理外氣 FFU系統(tǒng) 1）天花空間為微負(fù)壓氣式 2）獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱 輪軸風(fēng)機(jī)系統(tǒng) 1）天花空間為正壓氣室 2）獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱 系統(tǒng)主要設(shè)備： 1、無紡布板式過濾器:將外氣進(jìn)行處理過濾掉較大的微粒 2、預(yù)熱盤管:在冬季，將相對(duì)溫濕度較低的外氣進(jìn)行加熱，以便吸收更多的水分，以便加濕 3、加濕器：當(dāng)外氣濕度過低，加熱器激活將外氣加濕至系統(tǒng)所設(shè)定的露點(diǎn)溫度 4、冷卻盤管：當(dāng)外氣溫度過高，冷卻盤管將外氣冷卻至系統(tǒng)所設(shè)定的露點(diǎn)溫度 5、加熱盤管:將外氣加熱至系統(tǒng)所設(shè)定出口溫度 6、風(fēng)車：由馬達(dá)帶動(dòng)并以變頻器依系統(tǒng)設(shè)定送風(fēng)壓力來自動(dòng)控制電機(jī)風(fēng)車轉(zhuǎn)速 7、袋式過濾器：過濾掉外氣中更小的微粒 8、HEPA濾網(wǎng)：將MAU處理過的外氣在送進(jìn)無塵室之前做最后一次過濾，將空氣中更小的微粒過濾，以確保C/R的潔凈度 9、自動(dòng)風(fēng)門：根據(jù)系統(tǒng)所設(shè)定的無塵室壓差自動(dòng)調(diào)節(jié)MAU出口風(fēng)門開度