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公司基本資料信息
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關于擴散泵電磁加熱器描述
1)擴散泵作為真空系統(tǒng)的主泵已經(jīng)有幾十年的歷史了,而擴散泵的加熱方式迄今為止雖有N個變化方式卻多不盡人意。最早的電阻絲加熱方式一直沿用至今。雖有部分仁人志士對其做過N次改進,效果還是一般,仍然存在著:容易斷絲,容易短路,等諸多可靠性低的易發(fā)故障。
電阻加熱的第二代加熱器,為電加熱管的加熱方式,而干燒的加熱管最長的壽命為100天。
電阻加熱的第三代加熱器,為圓餅式、扇形餅式。壽命比加熱管稍長。但要求加熱餅緊貼擴散泵底。這點用戶很難做到。還有導線接入?yún)^(qū)域溫度過高觸電區(qū)域極易氧化虛接。雖經(jīng)N次改進故障率仍居高難下。
電阻加熱的第二代變種加熱方式為電熱管插入擴散泵內(nèi)的加熱方式。這種加熱方式的優(yōu)點是:加熱速度快。然而缺點也極其明顯:擴散泵內(nèi)一旦缺油便引起加熱管干燒,鏈鎖反應造成炸管、炸套管、導致擴散泵泄漏、擴散泵油裂解、氧化、碳化失效。讓用戶苦不堪言。
最為科學的加熱方式,便是將電磁加熱器的加熱技術轉(zhuǎn)化到擴散泵的加熱上。這便帶來了革命性的進步。
用這種方式加熱的優(yōu)點便是加熱速度快。節(jié)能、爐子本身不熱。爐子本身壽命長。故障率極低。