層流式（Laminar) 　　武清正壓潔凈室 武清負壓潔凈室 武清防靜電潔凈室層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class~。其型式可分為二種：　　⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下側(cè)污染較嚴重?！　?yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定?！　∪秉c：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。　?、拼怪睂恿魇剑悍块g天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域?！　?yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響?！　∪秉c：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。復合式（MixedType) 　　武清正壓潔凈室 武清負壓潔凈室 武清防靜電潔凈室復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。　?、艥崈羲淼溃–lean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧良壱陨?，可?jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用?！　〈诵褪叫鑼⒆鳂I(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式?！　∥淝逭龎簼崈羰?武清負壓潔凈室 武清防靜電潔凈室潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行?！　、茲崈艄艿溃–lean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。　?、遣⒀b局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級,~,之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為~級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類?！　崈艄ぷ髋_：等級Class ~級?！　崈艄ぷ髋铮簽樵趤y流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為~級，高度在.米左右，覆蓋面積約m以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。