概述：
EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2 激光
功能和優(yōu)勢(shì)
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。
牢靠且防腐蝕。
先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到最低。
軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要最高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
技術(shù)數(shù)據(jù)：
容積（工作容積）
50Hz 2590 m3h-1/1525 ft3min-1
60Hz 3110 m3h-1/1830 ft3min-1
使用后備泵時(shí)的有效抽取速度
E2M175 1750 m3h-1/1031 ft3min-1
E2M275 1900 m3h-1/1119 ft3min-1
泵的壓差 ?
50Hz 0-120 mbar/0-90 Torr
60Hz 0-67 mbar/0-50 Torr
入口連接 ISO160
出口連接 ISO100
轉(zhuǎn)速
50Hz 0-2900 rpm
60Hz 0-3500 rpm
連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口壓力 1000 mbar/760 Torr
推薦的后備泵 GXS250，GXS400，E2M175，E2M275
電源供給
50Hz 220-240V/380-415V
60Hz 230V/460V
馬達(dá)功率
碳?xì)浠衔?span id="xw4nta8" class="Apple-tab-span" style="white-space:pre;"> 11kW/15hp
PFPE 11kW/15hp
ATEX 11kW
防爆型 15hp
環(huán)境溫度范圍
操作 5 至 40°C/40 至 104°F
存儲(chǔ) -10 至 80°C/14 至 176°F
最大操作濕度 90% RH
推薦的冷卻水流量（入口溫度 20°C）* 250lh-1/1.1 gal min-1
推薦的冷卻水供應(yīng)壓力* 2-6 bar
冷卻水接頭* 3/8 英寸 BSP 陽螺紋
推薦用油
標(biāo)準(zhǔn)型 Ultragrade 20
PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6
油容量
齒輪箱 3.5 升
聯(lián)結(jié)器箱 6.5 升
軸桿封口儲(chǔ)油器 1.5 升
重量** 401 kg/882 lb
