純凈水設(shè)備在工業(yè)領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用，尤其是在電子行業(yè)。在工業(yè)飛快發(fā)展的時(shí)代中，純凈水設(shè)備在電子行業(yè)中占著舉足輕重的地位。電子產(chǎn)品的質(zhì)量的成品率，有時(shí)候就取決于純凈水設(shè)備產(chǎn)出水質(zhì)的好壞。不同種類的電子器件在生產(chǎn)過(guò)程中，所需要的純凈水水質(zhì)也不同。通常一個(gè)電子產(chǎn)品制造周期的20%的生產(chǎn)過(guò)程中需要使用到超純水。濕法工藝設(shè)備使用的流體中有50%以上為超純水，隨著環(huán)保要求的提高，這一比例還在不斷提高?！?/p>

除此之外，太陽(yáng)能光伏行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程對(duì)生產(chǎn)用水使用要求非常高，集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高，對(duì)超純水制備工藝出水水質(zhì)的要求也越嚴(yán)格。目前國(guó)家工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。使用電子級(jí)超純水設(shè)備可以制取五個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的水。

隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對(duì)超純水的要求也越來(lái)越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個(gè)部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽(yáng)床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對(duì)原水進(jìn)行粗加工.提供符合Ro進(jìn)水要求的給水。其主要用來(lái)去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機(jī)物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過(guò)濾器+活性炭過(guò)濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過(guò)濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過(guò)程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過(guò)濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費(fèi)用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時(shí)需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來(lái)，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運(yùn)行，而且超濾膜的價(jià)格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。

電鍍涂裝行業(yè)中，為了增加鍍件表面光潔度、亮度、附著力，電鍍液的配制需要用電導(dǎo)率在15uS/cm以下的純水。另外在鍍件漂洗時(shí)也需用電導(dǎo)率在10uS/cm以下電鍍純水來(lái)清洗，電鍍行業(yè)用水處理系統(tǒng)包括電鍍前電鍍液配制用純水系統(tǒng)、電鍍漂洗廢水中稀有金屬回收漂洗水循環(huán)利用電鍍廢水處理零排放系統(tǒng)。通常系統(tǒng)由預(yù)處理，超濾，反滲透(RO)，離子交換，EDI設(shè)備等組成，以滿足電鍍行業(yè)對(duì)各種水質(zhì)的要求。

涂裝電鍍用純水設(shè)備發(fā)展歷程　　近幾十年以來(lái)，混合床離子交換技術(shù)一直作為超純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝。由于其需要周期性的再生且再生過(guò)程中使用大量的化學(xué)藥品(酸堿)和純水，并造成一定的環(huán)境問(wèn)題，因此需要開(kāi)發(fā)無(wú)酸堿超純水系統(tǒng)。

正因?yàn)閭鹘y(tǒng)的離子交換已經(jīng)越來(lái)越無(wú)法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的需要，于是將膜、樹(shù)脂和電化學(xué)原理相結(jié)合的EDI技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場(chǎng)革命。其離子交換樹(shù)脂的再生使用的是電，而不再需要酸堿，因而更滿足于當(dāng)今世界的環(huán)保要求。

自從1986年EDI膜堆技術(shù)工業(yè)化以來(lái)，全世界已安裝了數(shù)千套EDI系統(tǒng)，尤其在制藥、半導(dǎo)體、電力和表面清洗等工業(yè)中得到了大力的發(fā)展，同時(shí)在廢水處理、飲料及微生物等領(lǐng)域也得到廣泛使用。