用戶在采購超純水設(shè)備之前首先要了解自己的用水要求，最主要的是水質(zhì)的電阻率或電導(dǎo)率是多少以及是否有其他要求（如顆粒、熱原等）。目前國內(nèi)實驗室用水主要有國標GB6682-2008，其對實驗室用水分為三級，分別對電導(dǎo)（電阻）、pH值、可氧化物、吸光度、可溶性硅及蒸發(fā)殘渣作了要求。根據(jù)用水級別的不同，用戶可以選擇對應(yīng)的超純水機（一級水）、EDI純水機（二級水）和RO純水機（三級水）。

除此之外，進水水質(zhì)也是必須考慮的因素。通常需要根據(jù)自來水雜質(zhì)含量配置不同的預(yù)處理系統(tǒng)。高硬度的自來水需要加裝軟化系統(tǒng)，多泥沙顆粒的自來水需要添加石英砂過濾系統(tǒng)，為了保證進到反滲透膜里的水質(zhì)需要在自來水末端添加保安過濾等等。預(yù)處理設(shè)備的耗材壽命通常都比較短，為了維護方便，盡量使用一體化的高效耗材。

其他應(yīng)考慮的因素是：技術(shù)支持、售后服務(wù)以及系統(tǒng)的驗證校驗支持等。

實驗室超純水設(shè)備通常由自來水預(yù)處理系統(tǒng)、自來水純化系統(tǒng)、超純化系統(tǒng)三部分組成。預(yù)處理的目的主要是使原水達到反滲透膜分離組件的進水要求，保證反滲透純化系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。自來水純化系統(tǒng)主要包括反滲透膜和EDI連續(xù)電流去離子模塊。反滲透膜可以去除原水中95%以上離子、99%以上的有機物、微生物和顆粒，經(jīng)濟高效。EDI模塊通過連續(xù)電流去離子高效去除水中的離子及帶電有機物，水質(zhì)可以達到二級水標準，方便環(huán)保。超純化后處理系統(tǒng)通過多種技術(shù)進一步去除反滲透純水中微量離子、有機物等雜質(zhì)，滿足不同用途的最終水質(zhì)要求。

隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對超純水的要求也越來越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對原水進行粗加工.提供符合Ro進水要求的給水。其主要用來去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級反滲透系統(tǒng)的運行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級反滲透系統(tǒng)的運行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運行，而且超濾膜的價格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運行維護費用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。