醫(yī)用純水的分級介紹了醫(yī)用純水的分級概念，按照新中國藥典的相關(guān)定義，應(yīng)用電導(dǎo)率、總有機碳(TOC>,微生物含量等關(guān)鍵指標將醫(yī)用純水劃分為4個等級，重點闡述了醫(yī)用純水水質(zhì)的檢測標準，為醫(yī)院規(guī)范使用醫(yī)用純水提供了依據(jù)。

醫(yī)用純水在醫(yī)院中的應(yīng)用越來越廣泛，在與國際接軌的我國藥典對醫(yī)藥用水的法定制備方法進行了重新定義。中國藥典(2000年版)中所收載的制藥用水較以前有很大進步，因其使用的范圍而分為純化水、注射用水及滅菌注射用水，將過去的蒸餾水改為純化水，并且對醫(yī)用純水具體定義為“采用蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其他適宜的方法制得供醫(yī)用的水”，實際上放棄了對生產(chǎn)工藝“必須為蒸餾法”的限定，為相關(guān)企業(yè)采用國際上廣為流行的反滲透法制備醫(yī)用純水奠定了法理基礎(chǔ)與傳統(tǒng)的蒸餾法相比較，以反滲透法為基礎(chǔ)的聯(lián)合了新電去離子技術(shù)的新工藝具有明顯的優(yōu)越性和先進性。根據(jù)醫(yī)院不同的用途，醫(yī)用純水被分為不同的等級，其制備方法也完全不同。

隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，電子、電力、制藥、食品、化工、輕工、航空航天和冶金等行業(yè)對純水的需求量日趨增大，對純水的水質(zhì)要求也越來越高，尤其是在油田伴生氣洗滌過程中，對超純水的出水水質(zhì)提出了更嚴格的要求。

目前超純水制備多數(shù)采用反滲透技術(shù)，但其處理效果不能滿足某些特殊需要[z1而電滲析、離子交換技術(shù)作為普遍的水去離子手段，具有操作簡便、性能可靠、成本造價低、材料消耗少、安全實用等優(yōu)點。

預(yù)處理主要目的是去除原水中的懸浮物、膠體、色度、濁度、有機物等妨礙后續(xù)工藝系統(tǒng)正常運行的雜質(zhì)。通過選擇合理的工藝流程，以石英砂過濾器和保安濾器為預(yù)處理手段，充分發(fā)揮了反滲透膜的性能，增加了水回收率，降低了膜污染，使產(chǎn)水電導(dǎo)率能夠始終穩(wěn)定在17以上。

隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對超純水的要求也越來越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對原水進行粗加工.提供符合Ro進水要求的給水。其主要用來去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級反滲透系統(tǒng)的運行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級反滲透系統(tǒng)的運行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運行，而且超濾膜的價格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運行維護費用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。