電子行業(yè)純水設(shè)備要求

隨著電子和半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，人們對生產(chǎn)中所使用的超純水的質(zhì)量要求在不斷地提高，超純水的標(biāo)準(zhǔn)也在不斷提高。目前超純水的要求主要有:水的電阻率接近理論值，25℃下為18Mcm;對微粒、細(xì)菌等有害雜質(zhì)的控制也是極其嚴(yán)格的，因為微粒會使半導(dǎo)體的外延層產(chǎn)生尖峰，光刻過程產(chǎn)生***，而細(xì)菌本身可視作微粒，且體內(nèi)含有鈉、鉀、磷等多種微量金屬元素，總有機(jī)碳(T 0 C)也會對形成氧化膜產(chǎn)生不良影響。

進(jìn)水質(zhì)量、運(yùn)行流量和樹脂粒度均勻性等主要因素對電子級超純水精制混床離子交換樹脂出水質(zhì)量的影響。出水質(zhì)量隨著進(jìn)水質(zhì)量的提高而提高，運(yùn)行流量控制在50一70B V/h時為佳，采用粒度更均勻的樹脂出水質(zhì)量和周期制水量更好。在一定的運(yùn)行條下，電子級超純水精制混床離子交換樹脂完全能滿足電子行業(yè)對出水水質(zhì)的要求。

近年來，隨著人民生活質(zhì)量的提高，對食品飲料用水標(biāo)準(zhǔn)提出了更為嚴(yán)格的要求。膜法工藝制備純水、高純水已經(jīng)取代了傳統(tǒng)離子交換純水制備工藝。該技術(shù)在國內(nèi)外食品飲料制造企業(yè)得到了普遍應(yīng)用。膜法工藝設(shè)備單元化程度高，化學(xué)制劑應(yīng)用較少，自動化程度高，細(xì)菌及菌落數(shù)能夠得到根本保證，系統(tǒng)能夠長期穩(wěn)定運(yùn)行，具有傳統(tǒng)工藝無法比擬的優(yōu)勢。為國內(nèi)某食品制造企業(yè)純水制備工藝。該套工藝能夠?qū)崿F(xiàn)全自動操作，保證24 h連續(xù)運(yùn)行，運(yùn)行維護(hù)簡單，出水水質(zhì)穩(wěn)定。因系統(tǒng)預(yù)處理采用了超濾設(shè)備，細(xì)菌及懸浮物指標(biāo)大大降低。后續(xù)工藝中，反滲透設(shè)備不僅能夠保證總?cè)芙夤腆w指標(biāo)的要求，細(xì)菌等分子級物質(zhì)更能達(dá)到全部脫除，大減輕了后端工藝滅菌的負(fù)擔(dān)。。【奧凱純水系統(tǒng)工程】

隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對超純水的要求也越來越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對原水進(jìn)行粗加工.提供符合Ro進(jìn)水要求的給水。其主要用來去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機(jī)物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費(fèi)用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運(yùn)行，而且超濾膜的價格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。