電鍍涂裝行業(yè)中，為了增加鍍件表面光潔度、亮度、附著力，電鍍液的配制需要用電導(dǎo)率在15uS/cm以下的純水。另外在鍍件漂洗時(shí)也需用電導(dǎo)率在10uS/cm以下電鍍純水來清洗，電鍍行業(yè)用水處理系統(tǒng)包括電鍍前電鍍液配制用純水系統(tǒng)、電鍍漂洗廢水中稀有金屬回收漂洗水循環(huán)利用電鍍廢水處理零排放系統(tǒng)。通常系統(tǒng)由預(yù)處理，超濾，反滲透(RO)，離子交換，EDI設(shè)備等組成，以滿足電鍍行業(yè)對(duì)各種水質(zhì)的要求。

涂裝電鍍用純水設(shè)備發(fā)展歷程　　近幾十年以來，混合床離子交換技術(shù)一直作為超純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中使用大量的化學(xué)藥品(酸堿)和純水，并造成一定的環(huán)境問題，因此需要開發(fā)無酸堿超純水系統(tǒng)。

正因?yàn)閭鹘y(tǒng)的離子交換已經(jīng)越來越無法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的需要，于是將膜、樹脂和電化學(xué)原理相結(jié)合的EDI技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場(chǎng)革命。其離子交換樹脂的再生使用的是電，而不再需要酸堿，因而更滿足于當(dāng)今世界的環(huán)保要求。

自從1986年EDI膜堆技術(shù)工業(yè)化以來，全世界已安裝了數(shù)千套EDI系統(tǒng)，尤其在制藥、半導(dǎo)體、電力和表面清洗等工業(yè)中得到了大力的發(fā)展，同時(shí)在廢水處理、飲料及微生物等領(lǐng)域也得到廣泛使用。

電子行業(yè)純水設(shè)備要求

隨著電子和半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，人們對(duì)生產(chǎn)中所使用的超純水的質(zhì)量要求在不斷地提高，超純水的標(biāo)準(zhǔn)也在不斷提高。目前超純水的要求主要有:水的電阻率接近理論值，25℃下為18Mcm;對(duì)微粒、細(xì)菌等有害雜質(zhì)的控制也是極其嚴(yán)格的，因?yàn)槲⒘?huì)使半導(dǎo)體的外延層產(chǎn)生尖峰，光刻過程產(chǎn)生***，而細(xì)菌本身可視作微粒，且體內(nèi)含有鈉、鉀、磷等多種微量金屬元素，總有機(jī)碳(T 0 C)也會(huì)對(duì)形成氧化膜產(chǎn)生不良影響。

進(jìn)水質(zhì)量、運(yùn)行流量和樹脂粒度均勻性等主要因素對(duì)電子級(jí)超純水精制混床離子交換樹脂出水質(zhì)量的影響。出水質(zhì)量隨著進(jìn)水質(zhì)量的提高而提高，運(yùn)行流量控制在50一70B V/h時(shí)為佳，采用粒度更均勻的樹脂出水質(zhì)量和周期制水量更好。在一定的運(yùn)行條下，電子級(jí)超純水精制混床離子交換樹脂完全能滿足電子行業(yè)對(duì)出水水質(zhì)的要求。

隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對(duì)超純水的要求也越來越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個(gè)部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對(duì)原水進(jìn)行粗加工.提供符合Ro進(jìn)水要求的給水。其主要用來去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機(jī)物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費(fèi)用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時(shí)需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運(yùn)行，而且超濾膜的價(jià)格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。