隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對超純水的要求也越來越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對原水進行粗加工.提供符合Ro進水要求的給水。其主要用來去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級反滲透系統(tǒng)的運行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級反滲透系統(tǒng)的運行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運行，而且超濾膜的價格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運行維護費用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。

純凈水設(shè)備的功能解析　　

1、純凈水設(shè)備采用石英砂多介質(zhì)過濾器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20m以上對人體有害的物質(zhì)，系統(tǒng)可以自動(手動)進行反沖洗，正沖洗等一系列操作。

2、純凈水設(shè)備采用果殼活性炭過濾器，目的是為了去除水中的色素、異味、生化有機物、降低水的余氯值及農(nóng)藥污染和其他對人體有害的污染物。系統(tǒng)可以自動(手動)進行反沖洗，正沖洗等一系列操作。

3、純凈水設(shè)備采用陽樹脂對水進行軟化，主要是降低水的硬度，去除水中的鈣、鎂離子(形成水垢的主要成分)，可有效延長反滲透膜的使用壽命，并可進行智能化樹脂再生。

4、純凈水設(shè)備采用5um孔徑精密過濾器，使水得到進一步的凈化，使水的濁度和色度達到優(yōu)化。保證RO系統(tǒng)進水條件要求，保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長設(shè)備的使用壽命。

5、純凈水設(shè)備采用反滲透技術(shù)進行深度脫鹽處理(進口美國反滲透膜)去除鈣、鎂、鉛、汞等對人體有害的重金屬物質(zhì)及其他雜質(zhì)，降低水的硬度，脫鹽率達99%以上，生產(chǎn)出符合國家標(biāo)準(zhǔn)的純凈水。

隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對超純水的要求也越來越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對原水進行粗加工.提供符合Ro進水要求的給水。其主要用來去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級反滲透系統(tǒng)的運行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級反滲透系統(tǒng)的運行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運行，而且超濾膜的價格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運行維護費用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。