電子行業(yè)純水設(shè)備要求

隨著電子和半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，人們對(duì)生產(chǎn)中所使用的超純水的質(zhì)量要求在不斷地提高，超純水的標(biāo)準(zhǔn)也在不斷提高。目前超純水的要求主要有:水的電阻率接近理論值，25℃下為18Mcm;對(duì)微粒、細(xì)菌等有害雜質(zhì)的控制也是極其嚴(yán)格的，因?yàn)槲⒘?huì)使半導(dǎo)體的外延層產(chǎn)生尖峰，光刻過(guò)程產(chǎn)生***，而細(xì)菌本身可視作微粒，且體內(nèi)含有鈉、鉀、磷等多種微量金屬元素，總有機(jī)碳(T 0 C)也會(huì)對(duì)形成氧化膜產(chǎn)生不良影響。

進(jìn)水質(zhì)量、運(yùn)行流量和樹(shù)脂粒度均勻性等主要因素對(duì)電子級(jí)超純水精制混床離子交換樹(shù)脂出水質(zhì)量的影響。出水質(zhì)量隨著進(jìn)水質(zhì)量的提高而提高，運(yùn)行流量控制在50一70B V/h時(shí)為佳，采用粒度更均勻的樹(shù)脂出水質(zhì)量和周期制水量更好。在一定的運(yùn)行條下，電子級(jí)超純水精制混床離子交換樹(shù)脂完全能滿足電子行業(yè)對(duì)出水水質(zhì)的要求。

典型實(shí)驗(yàn)室超純水系統(tǒng)組成純水制備系統(tǒng)

以自來(lái)水作為進(jìn)水，制備符合實(shí)驗(yàn)室用水標(biāo)準(zhǔn)的二級(jí)或三級(jí)純水的設(shè)備。實(shí)驗(yàn)室每天純水的用量有可能從數(shù)升到數(shù)百升不等。在設(shè)計(jì)之處首先應(yīng)該考慮的是：確定使用者所需純水的水質(zhì)和用水量，并據(jù)此計(jì)算出使用者所需純水制備設(shè)備的小時(shí)流量。通常建議純水制備系統(tǒng)每天工作小時(shí)以8小時(shí)左右為宜，工作時(shí)間過(guò)長(zhǎng)不但增加耗材消耗量，也減少整個(gè)純水制備系統(tǒng)的壽命；過(guò)少則對(duì)純水制備效率有影響。        

純水儲(chǔ)存系統(tǒng)

儲(chǔ)存系統(tǒng)在每日高峰用水之間可以起到緩沖的作用，使得純水制備系統(tǒng)有足夠的時(shí)間生產(chǎn)出實(shí)驗(yàn)室每日所需的純水。同時(shí)純水儲(chǔ)存水箱必須能夠保證純水的水質(zhì)穩(wěn)定免受污染。水箱的材料和諸多設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)都會(huì)影響到水箱所存儲(chǔ)純水的水質(zhì)。

超純水系統(tǒng)

實(shí)驗(yàn)室超純水系統(tǒng)在設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該明確的超純水的用途。根據(jù)具體應(yīng)用不同，超純水的水質(zhì)及其純化元件也有不同。根據(jù)超純水的用途，需要選擇合適的超純水純化元件。例如可以去除有機(jī)物的紫外燈、可以去除熱原的超濾膜柱等。

電子行業(yè)純水設(shè)備要求

隨著電子和半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，人們對(duì)生產(chǎn)中所使用的超純水的質(zhì)量要求在不斷地提高，超純水的標(biāo)準(zhǔn)也在不斷提高。目前超純水的要求主要有:水的電阻率接近理論值，25℃下為18Mcm;對(duì)微粒、細(xì)菌等有害雜質(zhì)的控制也是極其嚴(yán)格的，因?yàn)槲⒘?huì)使半導(dǎo)體的外延層產(chǎn)生尖峰，光刻過(guò)程產(chǎn)生***，而細(xì)菌本身可視作微粒，且體內(nèi)含有鈉、鉀、磷等多種微量金屬元素，總有機(jī)碳(T 0 C)也會(huì)對(duì)形成氧化膜產(chǎn)生不良影響。

進(jìn)水質(zhì)量、運(yùn)行流量和樹(shù)脂粒度均勻性等主要因素對(duì)電子級(jí)超純水精制混床離子交換樹(shù)脂出水質(zhì)量的影響。出水質(zhì)量隨著進(jìn)水質(zhì)量的提高而提高，運(yùn)行流量控制在50一70B V/h時(shí)為佳，采用粒度更均勻的樹(shù)脂出水質(zhì)量和周期制水量更好。在一定的運(yùn)行條下，電子級(jí)超純水精制混床離子交換樹(shù)脂完全能滿足電子行業(yè)對(duì)出水水質(zhì)的要求。