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公司基本資料信息
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一、 激光調(diào)阻原理
激光調(diào)阻原理就是利用一束極細的激光束打在厚、薄膜電阻上，通過對電阻體氣化蒸發(fā)實現(xiàn)厚、薄膜電路的切割。激光束按計算機預(yù)定的程序切割厚、薄膜電阻，通過改變厚、薄膜電阻的幾何形狀從而改變電阻的阻值。隨著激光切割過程的進行，同時實時測量電路實時***厚、薄膜電阻阻值的變化，厚、薄膜電阻的阻值不斷接近目標阻值，當厚、薄膜電阻達到目標阻值后激光束關(guān)閉，即實現(xiàn)激光調(diào)阻過程。
1．激光器系統(tǒng)
l 激光波長：1064nm
l 激光平均功率：10W
l 典型光斑尺寸： 35μm
實際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長
l 冷卻方式：風冷
l 對焦方式：計算機程序控制
2．激光束定位系統(tǒng)
l 激光束運動范圍：60mm X 60mm
l 重復(fù)定位精度：2μm
l 定位精度：±5μm
l 激光束最小步進：0.76μm
3．圖像***系統(tǒng)
l ***方式：激光同軸***
l ***視場：4-6mm（對角線）
l 圖像***顯示屏：19寸液晶
4．測量系統(tǒng)
l 激勵方式：電流激勵
l 恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇
l 電阻測量方式：四線制加電流測電壓（可選擇二線制）
l 直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
l 調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定
l 電阻測量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
l 電阻測量范圍： 0.01Ω-10MΩ
l 電阻測量速度：25μs
l 直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）
l 探針板：44針11通道四線制（可選其它規(guī)格）
l 探針板運動：計算機程序控制
5．計算機及軟件系統(tǒng)
l 工業(yè)控制計算機（雙核），19寸液晶
l 操作系統(tǒng)：Windows XP
l VB平臺開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強大
6．分步重復(fù)機械運動系統(tǒng)
l 運動方式：空氣懸浮運動，無摩擦力
l 運動范圍：290mm*260mm
l 最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據(jù)要求定做）
l 運動分辨率：1μm
l 重復(fù)精度：2μm
l 定位精度：±15μm
l 最大運動速度：500mm/s
7．其它技術(shù)指標
l 供電電壓：220V AC
l 整機功耗：1000W
