硅片拋光機：1．本系列研磨機的上、下研磨盤可進行自動修盤。2．采用四個電機同步拖動，變速范圍更廣，運動精度更高，響應(yīng)速度更快，能適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求，實現(xiàn)了軟啟動、軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。3．修面機采用伺服馬達驅(qū)動，能確保油壓懸浮導軌滑動更加平穩(wěn)，得到的平面修整效果非好。 4．控制系統(tǒng)中采用DSP、Web-Link、彩色終端等先進技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠程監(jiān)控，遠程維護功能；5．本系列研磨機有光柵厚度控制系統(tǒng)，加工后的產(chǎn)品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。 http://www.weiada.com http://www.weianda.com http://www.weanda.com http://www.jianxingdianchi.com