自動勻膠機，采用進(jìn)口旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，通過精準(zhǔn)定位系統(tǒng)，輔以皮帶傳送，實現(xiàn)光刻膠的自動涂覆，前烘。旋轉(zhuǎn)速度達(dá)6000rpm，無故障加工片數(shù)多達(dá)10000片以上。自動勻膠具有加工速度快，涂覆均勻性好，節(jié)省光刻膠等特點。設(shè)備具有操作簡單，維護(hù)量小等特點。

適用范圍廣：適用3-6寸芯片
烘烤溫度控制精確：≤1℃（50-150℃），≤2℃（150-200℃）
旋轉(zhuǎn)速度控制精確：最高轉(zhuǎn)速6000rpm，加速度可在0-5000rpm/sec范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，轉(zhuǎn)速
                精準(zhǔn)度≤1-4%
涂布均勻性好：片內(nèi)≤130A，片間≤150A
設(shè)備可靠性高：MWBF（平均故障間隔）≥10000片