石墨烯制備爐的主要技術參數(shù)：
溫度范圍：室溫~1050度
整機功率：2.5 kW
末端口為：不銹鋼法蘭接口，外置水冷卻
進樣方式為：手動
氣體成分有：
Ar：純度99.999%以上，40L，配惰性氣體減壓閥，流量0-1000 sccm；
H2：純度99.999%，40L，配氫氣減壓閥，流量0-200 sccm；
CH4：純度99.999%，40L，配減壓閥，流量0-10 sccm   (更大量程可選)；
13CH4：純度99% (1%為12CH4)，10L，配專用減壓閥，流量0~10 sccm (同位素選件)；
該系統(tǒng)的溫度、氣流及真空采用計算機控制，其中部分功能也可以采用手動控制。石墨烯制備爐采用計算機實時控制和顯示所有與生長有關的實驗參數(shù)，自動保存實驗參數(shù)，給實驗帶來極大的方便，并提高實驗的精確性。