廈門普瑞盛電子科技有限
公司專業(yè)提供光譜型橢偏儀,可聯系廈門總公司,福州辦事處
成本低
易于安裝
基于視窗結構的軟件,很容易操作
先進的光學設計,以確保能發(fā)揮出最佳的系統(tǒng)性能
高功率的DUV-VIS光源,能夠應用在很寬的波段內
基于陣列設計的探測器系統(tǒng),以確??焖贉y量
最多可測量12層薄膜的厚度及折射率
系統(tǒng)配備強大的光學常數數據庫
對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用先進的TFProbe3.3軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進行色散或者有效介質近似模型(EMA)測量分析;
能夠應用于測量不同厚度、不同類型的基片
用于實現諸如數字成像、自動mapping臺、波長擴展、聚焦光斑等功能的各種可選項以及附件
應用領域
半導體制造(PR,Oxide, Nitride..)
· 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
· 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)
· 薄膜晶體管TFT上的層堆疊
· 醫(yī)療器械上的涂層
· 用在 MEMS/MOEMS領域的功能性薄膜
· 非晶體,納米材料和結晶薄膜
· 薄金屬膜